Строение вещества

Сопротивление материалов

Коллоидная химия

42 страницы

7 месяцев назад

73 просмотра

Свойства и структура тонких плёнок

Содержание

Глава 1. Введение
1.1 Актуальность темы
1.2 Цель и задачи исследования

Введение

Данная работа посвящена изучению свойств и структуры тонких пленок, которые находят широкое применение в различных областях науки и техники. Тонкие пленки – это материалы с толщиной в несколько нанометров до микрометров, которые используются в микроэлектронике, оптоэлектронике, биомедицинских приложениях и многом другом. Изучение свойств таких пленок необходимо для оптимизации их характеристик и улучшения функциональности устройств, в которых они применяются. В работе будет рассмотрено влияние различных факторов, таких как методы депонирования, температура обработки и состав материала, на свойства пленок и их структуру. Кроме того, будет проведён анализ современных методов исследования тонких пленок, что позволит глубже понять механизмы, определяющие их поведение и взаимодействие с окружающей средой.

Актуальность темыТонкие пленки играют ключевую роль в современных технологиях, включая микроэлектронику и фотонику. С ростом потребности в миниатюризации устройств и увеличении их функциональности, исследование свойств и структуры тонких пленок становится особенно актуальным.
Проблематика исследованияНесмотря на значительное количество исследований в данной области, многие аспекты, такие как зависимость свойств от метода получения и структурных особенностей, остаются недостаточно изученными.
Цели исследованияЦелью данной работы является комплексное изучение свойств и структуры тонких пленок, а также анализ факторов, влияющих на их характеристики.
Задачи исследованияДля достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи: определить основные методы получения тонких пленок, изучить влияние различных факторов на их свойства, а также рассмотреть современные методы исследования.

Список источников

1. Старицын Михаил Владимирович. Аномальное электронное каналирование в тонких пленках ЦТС // Конденсированные среды и межфазные границы. 2023. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/anomalnoe-elektronnoe-kanalirovanie-v-tonkih-plenkah-tsts (дата обращения: 25.02.2026).

2. Бизяев И. С., Габдулин П. Г., Гнучев Н. М., Архипов А. В.. Низкопороговая полевая эмиссия электронов тонкими пленками металлов // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Физико-математические науки. 2021. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/nizkoporogovaya-polevaya-emissiya-elektronov-tonkimi-plenkami-metallov (дата обращения: 25.02.2026).

3. Э. К. Мурлиев, А. К. Ахмедов, А. Ш. Асваров. Аморфные прозрачные проводящие пленки с высокой подвижностью носителей заряда в системе In2O3–ZnO для низкотемпературных оптоэлектронных приложений // Вестник Дагестанского государственного университета. Серия 1: Естественные науки. 2023. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/amorfnye-prozrachnye-provodyaschie-plenki-s-vysokoy-podvizhnostyu-nositeley-zaryada-v-sisteme-in2o3-zno-dlya-nizkotemperaturnyh (дата обращения: 25.02.2026).

4. Мария Андреевна Губина, Александр Михайлович Минкин, Наталья Александровна Медведева. О термической стабильности тонких пленок золота, полученных методом вакуумного осаждения // Вестник Пермского университета. Серия: Химия. 2024. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/o-termicheskoy-stabilnosti-tonkih-plenok-zolota-poluchennyh-metodom-vakuumnogo-osazhdeniya (дата обращения: 25.02.2026).

5. Гурченко В. С., Шевченко А. И., Тютюник А. С., Мазинов А. С.. ВЛИЯНИЕ СТРУКТУРНЫХ ОСОБЕННОСТЕЙ ФУЛЛЕРЕНА С 60 И ФУЛЛЕРЕНСОДЕРЖАЩЕГО МАТЕРИАЛА НА ИХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА // Современные проблемы физики, биофизики и инфокоммуникационных технологий. 2021. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/vliyanie-strukturnyh-osobennostey-fullerena-s-60-i-fullerensoderzhaschego-materiala-na-ih-elektricheskie-svoystva (дата обращения: 25.02.2026).

6. Морозова Анастасия Павловна, Кистаев Семен Евгеньевич, Чуваева Дарья Сергеевна, Поровченко Любовь Сергеевна, Соколова Виктория Александровна, и др.. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ВИХРЕТОКОВЫМИ МЕТОДАМИ ИССЛЕДОВАНИЙ // Известия Тульского государственного университета. Технические науки. 2024. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-tonkih-metallicheskih-plenok-vihretokovymi-metodami-issledovaniy (дата обращения: 25.02.2026).

7. Какорин И. А.. СОЗДАНИЕ СВЕРХРЕШЕТКИ ИЗ АТОМОВ КРЕМНИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ ПОЛИМЕРА // Международный журнал гуманитарных и естественных наук. 2023. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/sozdanie-sverhreshetki-iz-atomov-kremniya-na-poverhnosti-tonkoy-plenki-polimera (дата обращения: 25.02.2026).

8. Sh.U.Ergashev, M.G.Tillaboyev. Аномально высокий диотовольтаический эффект в тонких пленках арсенид-галлия // Строительство и образование. 2025. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/anomalno-vysokiy-diotovoltaicheskiy-effekt-v-tonkih-plenkah-arsenid-galliya (дата обращения: 25.02.2026).

9. С. А. Андреева, А. В. Щепетильников, К. Р. Джикирба, В. В. Соловьев, И. В. Кукушкин. Плазменные возбуждения в системе сверхпроводящих электронов в тонких пленках NbN // 7-я школа молодых ученых «Новые материалы и технологии для систем безопасности». 2025. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/plazmennye-vozbuzhdeniya-v-sisteme-sverhprovodyaschih-elektronov-v-tonkih-plenkah-nbn (дата обращения: 25.02.2026).

10. Панков С. Ю., Калинин Ю. Е., Макагонов В. А., Жилова О. В., Четверикова А. П., и др.. Структура и электрические свойства тонких пленок (In2O3/SiO2)25 // Journal of Advanced Materials and Technologies. 2020. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/struktura-i-elektricheskie-svoystva-tonkih-plenok-in2o3-sio2-25 (дата обращения: 25.02.2026).

11. С. Н. Каллаев, С. А. Садыков, M. Р. Джамалудинов, Н. М. -Р Алиханов, К. М. Гираев. Синтез и структура тонких пленок В1ҒеОз с буферным слоем ZnO на сапфире AI2O3 // Вестник Дагестанского государственного университета. Серия 1: Естественные науки. 2024. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/sintez-i-struktura-tonkih-plenok-v1-eoz-s-bufernym-sloem-zno-na-sapfire-ai2o3 (дата обращения: 25.02.2026).

12. Асадчиков В. Е., Волков Ю. О., Нуждин А. Д., Рощин Б. С.. СТРУКТУРА ТОНКИХ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК НАФИОНА И ПОЛИЛАКТОГЛИКОЛИДА НА ЖИДКИХ ПОДЛОЖКАХ ПО ДАННЫМ РЕНТГЕНОВСКОЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ // Успехи в химии и химической технологии. 2022. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/struktura-tonkih-polimernyh-plenok-nafiona-i-polilaktoglikolida-na-zhidkih-podlozhkah-po-dannym-rentgenovskoy-reflektometrii (дата обращения: 25.02.2026).

13. Бизяев Иван Сергеевич, Карасев Платон Александрович, Карабешкин Константин Валерьевич, Габдуллин Павел Гарифович, Архипов Александр Викторович. Трансформация структуры тонких металлических пленок при активировании их способности к низковольтной эмиссии электронов // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Физико-математические науки. 2024. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/transformatsiya-struktury-tonkih-metallicheskih-plenok-pri-aktivirovanii-ih-sposobnosti-k-nizkovoltnoy-emissii-elektronov (дата обращения: 25.02.2026).

14. Девицкий О. В., Захаров А. А., Лунин Л. С., Сысоев И. А., Пащенко А. С., и др.. ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА СТРУКТУРУ И МОРФОЛОГИЮ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК IN GA, AS НА ПОДЛОЖКЕ GAAS (100) // Конденсированные среды и межфазные границы. 2022. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/vliyanie-usloviy-magnetronnogo-raspyleniya-na-strukturu-i-morfologiyu-poverhnosti-tonkih-plenok-in-ga-as-na-podlozhke-gaas-100 (дата обращения: 25.02.2026).

15. Жернова В. А., Волковский Ю. А., Фоломешкин М. С., Кондратьев О. А., Просеков П. А., и др.. МЕТОДИКА РЕНТГЕНОДИФРАКЦИОННЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК ZNO, ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ НА ПОДЛОЖКАХ AL2O3 ОРИЕНТАЦИИ (0001) // Успехи в химии и химической технологии. 2022. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/metodika-rentgenodifraktsionnyh-issledovaniy-struktury-tonkih-plenok-zno-vyraschennyh-metodom-magnetronnogo-osazhdeniya-na (дата обращения: 25.02.2026).

16. Лупарев Николай Викторович, Сорокин Борис Павлович, Аксененков Виктор Владимирович. ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ-СКАНДИЯ В СОСТАВЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОИСТЫХ СТРУКТУР С ПОДЛОЖКАМИ ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗА // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. 2020. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/poluchenie-i-issledovanie-tonkih-plenok-nitrida-alyuminiya-skandiya-v-sostave-piezoelektricheskih-sloistyh-struktur-s-podlozhkami (дата обращения: 25.02.2026).

17. Цидаева Н. И., Накусов А. Т., Хайманов С. А., Цидаев Б. С.. ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ ФАКТОРОВ НА СТРУКТУРУ ПОВЕРХНОСТИ, ФОРМУ И РАЗМЕРЫ ЧАСТИЦ ПРИ СИНТЕЗЕ МИКРО/НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК Sm3Fe5O12 // The Scientific Heritage. 2020. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/vliyanie-vneshnih-faktorov-na-strukturu-poverhnosti-formu-i-razmery-chastits-pri-sinteze-mikro-nanostrukturirovannyh-tonkih-plenok (дата обращения: 25.02.2026).

18. Галкин Николай Геннадьевич, Галкин Константин Николаевич, Чернев Игорь Михайлович, Кропачев Олег Владиславович, Горошко Дмитрий Львович, и др.. ВЛИЯНИЕ ЖЕРТВЕННЫХ СЛОЕВ MG2SI И КИНЕТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НА РОСТ, СТРУКТУРУ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК CA2SI НА КРЕМНЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ // Химическая физика и мезоскопия. 2022. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/vliyanie-zhertvennyh-sloev-mg2si-i-kineticheskih-parametrov-na-rost-strukturu-i-opticheskie-svoystva-tonkih-plenok-ca2si-na (дата обращения: 25.02.2026).

19. Р. Йотилакшми, С. Сандип, Ю. А. Митягин, М. П. Теленков, К. К. Нагараджа. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И ТОПОГРАФИИ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, НАНЕСЕННЫХ ПРИ НИЗКОЙ МОЩНОСТИ РАСПЫЛЕНИЯ, ДЛЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ // Краткие сообщения по физике Физического института им. П. Н. Лебедева Российской Академии Наук. 2024. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-struktury-i-topografii-poverhnosti-tonkih-plenok-nitrida-alyuminiya-nanesennyh-pri-nizkoy-moschnosti-raspyleniya-dlya (дата обращения: 25.02.2026).

20. С. Г. Петросян,Ашот Суренович Мусаелян,О. В. Королик. Тонкие пленки CdS, сформированные на пoлиимидной подложке методом химического осаждения // Proceedings of NAS RA - Physics. 2025. URL: https://arar.sci.am/dlibra/publication/435854/edition/403886/content (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.54503/0002-3035-2025-60.2-252

21. Unknown. Тонкие пленки феррит-гранатов для нанофотоники: структурный анализ // Комбинационное рассеяние - 95…. 2023. URL: https://www.isp.nsc.ru/upload/kp95/107.pdf (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.34077/scattering95-107

22. T.A. Sajhulov. Магнитные и резистивные свойства тонких пленок LaSrMnO, осажденных на подложку NdGaO // Журнал экспериментальной и теоретической физики / Journal of Experimental and Theoretical Physics. 2025. URL: https://jetpras.ru/s3034641x25120113-1/?version_id=121399 (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.7868/s3034641x25120113

23. С. А. Лаврухина,А. Д. Федоренко,В. И. Сысоев,Л. Г. Булушева,Александр Владимирович Окотруб. Сенсорные свойства тонких пленок дисульфида вольфрама // Тезисы докладов Пятой российской конференции «Графен: молекула и 2D-кристалл». 2025. URL: https://grapheneconf.nsu.ru/obj/abstracts25.pdf#page=112 (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.26902/graphene-25-108

24. Unknown. Структурное разупорядочение и оптические свойства пленок HgCdTe, выращенных молекулярно-лучевой эпитаксией // ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ. 2023. URL: https://www.isp.nsc.ru/upload/photonics2023/110.pdf (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.34077/rcsp2023-110

25. Д. А. Кудряшов,А. А. Максимова,А.С. Гудовских. Исследование влияния особенностей конструкции установки магнетронного распыления на электрические и оптические свойства пленок оксида индия-олова // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov. 2021. URL: https://journals.ioffe.ru/articles/50741 (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.21883/FTP.2021.04.50741.9561

26. Ф.А. Усков,И.В. Верюжский. ИЗУЧЕНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК СПИНОВОГО БЕСЩЕЛЕВОГО ПОЛУПРОВОДНИКА CoFeMnSi, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ // Nanoindustry Russia. 2025. URL: https://www.nanoindustry.su/journal/article/10775 (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.22184/10.22184%2F1993-8578.2025.18.1.48.58

27. Л.А. Мочалов,С.В. Телегин,Е.А. Слаповская. Получение тонких пленок IGZO с помощью метода PECVD и исследование их свойств // Photonics Russia. 2025. URL: https://www.photonics.su/journal/article/10825 (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.22184/1993-7296.fros.2025.19.1.62.70

28. А.И. Арефьев,В.Н. Горнов,А. П. Котов. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЛАЗЕРНЫХ МИШЕНЕЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ // Nanoindustry Russia. 2023. URL: https://www.nanoindustry.su/journal/article/10006 (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.22184/1993-8578.2023.16.5.256.264

29. A. V. Shchegolkov,M. Lipkin. ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК WO3 НА ТИТАНЕ И ГРАФИТОВОЙ ФОЛЬГЕ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО (КАТОДНОГО) ОСАЖДЕНИЯ ДЛЯ ТОПЛИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ И СУПЕРКОНДЕНСАТОРОВ // Российский химический журнал. 2021. URL: https://journals.isuct.ru/rcj/article/view/3832 (дата обращения: 25.02.2026). DOI: 10.6060/rcj.2021654.8

Еще 18 источников

Предпросмотр документа

Наименование образовательного учреждения

курсовая работа на тему

Свойства и структура тонких плёнок

Выполнил: ФИО

Руководитель: ФИО

2025

Глава 1. Введение

1.1 Актуальность темы

Тонкие пленки находят широкое применение в различных областях науки и техники. Их уникальные свойства делают их незаменимыми в производстве полупроводников, оптики и материаловедении.

1.2 Цель и задачи исследования

Целью данного исследования является изучение свойств и структуры тонких пленок. Задачи исследования включают анализ современных методов получения тонких пленок и их характеристик.

Заключение

В заключение можно отметить, что тонкие пленки имеют огромный потенциал в различных областях, и дальнейшие исследования в этой сфере могут привести к появлению новых технологий и материалов.

Продолжи писать курсовая работа с нейросетью

Продолжить генерацию

Похожие курсовые работы

Керамика

Строение вещества

3D-моделирование

Пористость объектов

Содержание

Уникальность: Более 86%